主從動轉(zhuǎn)子間有3個間隙，分別是主從動轉(zhuǎn)子齒頂與齒底之間形成的徑向間隙、主從動轉(zhuǎn)子相互嚙合的斜齒面之間形成的間隙，以及主從動轉(zhuǎn)子相互嚙合的凹齒面之間形成的間隙。然后就是主從動轉(zhuǎn)子齒頂與泵腔內(nèi)壁之間形成的周向間隙。

在抽氣過程中，從進氣口到排氣口，壓力逐漸升高；因為這些返流間隙，被抽氣體會通過它們，從排氣口高壓側(cè)向進氣口低壓側(cè)反向流動，形成返流，進而影響到螺桿鼓風機的抽速與真空度。螺桿鼓風機在設(shè)計制造過程中，如果這個返流量控制得越小，那真空泵的實際抽速就越大，所能達到的極限真空度也就越高；反之，抽速與真空度都會變差。

在這些間隙中，主從動轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)壁之間的周向間隙大小變化，對返流的影響最為明顯（由此形成的泄漏通道面積占總泄漏面積的70%以上）。而主從動轉(zhuǎn)子之間的徑向間隙、凹齒面間隙及斜齒面間隙變化則對返流的影響則要遠遠小得多。因此，螺桿鼓風機設(shè)計生產(chǎn)及裝配中，需要更嚴格地控制轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)壁之間的間隙。

具體的轉(zhuǎn)子間隙設(shè)置中，間隙越大，返流越嚴重；間隙越小，返流越少。但并不是說，間隙就越小越好。一方面受泵腔內(nèi)溫升影響，轉(zhuǎn)子會出現(xiàn)熱脹冷縮的情況；同時，常見的轉(zhuǎn)子間隙從0.5mm減少到0.3mm時，返流會大幅減少，但從0.3mm到0.2mm，這種減少就會變緩，再到0.1mm，變化就更加細微了。因此需要考慮到這些方面，以及加工上的限制，而不是一味地求小。